نظم كهروميكانيكية صغرى
النظم الكهروميكانيكيه الصغرى (بالإنجليزية: Microelectromechanical systems) أو الميمس (بالإنجليزية: MEMS) كما يطلق عليها.
تختلف تسمية الممس من منطقة لأخرى يشار إليها مثلا إلى المكائن المايكروية (بالإنجليزية: micromachines) (في اليابان)، أو تقنية الأنظمة المايكروية (بالإنجليزية: Micro Systems Technology - MST) (في أوروبا). تتكون الميمس من مكونات بين 1 و 100 ميكرومتر في الحجم (أي 0.001 و 0.1 ملم) وأجهزة الميمس عموما تتراوح في حجمها من 20 ميكرومتر (20 جزءا من المليون من المتر) وتصل كتى إلى ملم. وعادة ما تتألف من وحدة مركزية، التي تعالج البيانات والمعالجات الدقيقة والعديد من المكونات التي تكون وظيفتها التفاعل مع الخارج مثل المتحسسات المايكروية (بالإنجليزية: microsensors).
المواد المستخدمه في التصنيع
سيليكون
كما هو معروف ان السيليكون هو العنصر الاساس في تصنيع الدوائر المتكامله. ونظرا لأنه معظم التقنيات التي تستخدم في تصنيع الدوائر المتكامله، جعلت السيليكون هو العنصر الأغلب في تصنيع هذه النظم الميكانيكيه الكهربائية الصغرى بواسطة السيليكون، حيث استخدمت نفس الآلات ونفس التقنيات المعروفة في تصنيع الدوائر المتكامله.
اقرأ أيضا
| ملف:Nuvola apps kfig.svg | هذه بذرة مقالة عن الهندسة التطبيقية تحتاج للنمو والتحسين، فساهم في إثرائها بالمشاركة في تحريرها. |
cs:MEMS da:MEMS de:Mikrosystem (Technik) Microelectromechanical systems]] es:Sistemas microelectromecánicos fa:سیستمهای میکرو الکترومکانیکی fi:Mikrosysteemit fr:Microsystème électromécanique he:MEMS id:MEMS it:MEMS ja:MEMS ko:MEMS nl:Micro-elektromechanisch systeem no:MEMS pl:Micro Electro-Mechanical Systems ru:Микроэлектромеханические системы sk:Micro-Electro-Mechanical Systems sv:MEMS th:ไมโครเทคโนโลยี tr:Mikro elektro-mekanik sistemler vi:MEMS zh:微机电系统
